Основы автоматизации технологических процессов. Учебное пособие для спо

Серия:Профессиональное образование

Автор:Щагин А. В., Демкин В. И., Кононов В. Ю., Кабанова А. Б.

Издательство:Юрайт

Страниц:163

Год:2022

Обложка:Твердый переплет

Размер:60x90/16

SKU:RU892023

ISBN:9785534038484

Наша цена:US $63.00

Отправляется через 16-24 дня

Описание

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.