Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры
![]() |
Серия:Университеты России Автор:Гуляев Ю.В., Иванов В.И., Лучников П.А. (Ред.) Издательство:Юрайт Страниц:460 Год:2022 Обложка:Твердый переплет Размер:60x90/16 SKU:RU812126 ISBN:9785534031706 Наша цена:US $149.00
Отправляется через 16-24 дня
|
Описание
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.©2024 Troyka Online All rights reserved.